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近代物理所大科學裝置檢驗檢測超凈間國家實驗室，致力于射頻超導技術鍍膜、射頻超導腔前沿技術的研究，我國目前新立項的北方光源、上海光源升級、C-ADS（中國加速器驅(qū)動次臨界系統(tǒng)）、HIAF（高通量重離子加速器系統(tǒng)）等大科學工程均是本技術潛在的應用對象。超凈間潔凈等級涵蓋ISO6級、ISO5級、ISO4級，溫控 14~22±0.5℃，濕度40~60%，其中單個ISO4級（10級）凈面積約160㎡，凈高4m，氣流流型為垂直單向流。